日本三豐測高儀518-236,QM-Height 精度高達(1.1+0.6L/600)um分辨率為0.1un/重復(fù)精度0.4um 確保5um的垂直度G正E面)和4um的直線度 配置全/半氣浮系統(tǒng),可根據(jù)操作情況(移動/測量)調(diào)節(jié)氣墊高度,在保持精度不變的同時完成快速檢驗
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