進(jìn)口激光干涉儀選擇API XD測(cè)量方法
主要特性:
¾一次安裝能測(cè)量6項(xiàng)精度指標(biāo)包括線性定位誤差、 XX及YY兩個(gè)方向直線度、偏擺角、俯仰角、滾動(dòng)角
¾ 把反射鏡換成五棱鏡既可測(cè)量兩軸間垂直度
¾ 兩點(diǎn)調(diào)光線. 無需三腳架. 測(cè)量調(diào)整簡單快速
¾ 傳統(tǒng)激光干涉儀測(cè)量20項(xiàng)精度指標(biāo)(三軸),約需3天的時(shí)間; API干涉儀只約需半天!
¾ 測(cè)量直線度/小角度/垂直度/轉(zhuǎn)臺(tái)時(shí), 不怕斷光, 可當(dāng)自準(zhǔn)直儀用, 用于機(jī)床裝配調(diào)試
良好的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
API公司采用了穩(wěn)定鋼球與絕熱層的雙重定位設(shè)計(jì)(如下圖),將干涉鏡用高絕熱層與激光器主機(jī)隔開,從而避免了干涉鏡受熱變形,用穩(wěn)定鋼珠將干涉鏡前端的干涉區(qū)與下端底盤定位相連,從而使激光管及電路板發(fā)熱而引起的熱膨脹方向沿穩(wěn)定鋼珠中線向后,使得干涉鏡不受影響,保證了測(cè)量準(zhǔn)確性。
API XD干涉儀線性定位誤差的測(cè)量方法:
¾ 一次安裝也可同時(shí)測(cè)量其它五個(gè)參數(shù);
¾ 可利用電腦中的直線度實(shí)時(shí)顯示,
數(shù)字化去除余弦差,測(cè)量準(zhǔn)確;
¾ 兩點(diǎn)調(diào)光,對(duì)光迅速
直線度測(cè)量— API XD的方法
應(yīng)用良好的PSD技術(shù):光電位置敏感檢測(cè)器。它可將光敏面上的光點(diǎn)位置轉(zhuǎn)化為電信號(hào))
¾ 不怕斷光,可用于導(dǎo)軌的安裝調(diào)試(類似于自準(zhǔn)直儀)
¾ 對(duì)直線度進(jìn)行1:1的測(cè)量
¾ 可一次性安裝, 與線性誤差一起測(cè)量, 方便, 快速
垂直度測(cè)量— API XD的方法
¾ API XD激光干涉儀是通過PSD技術(shù)1:1進(jìn)行直線度測(cè)量的,所以API干涉儀測(cè)兩軸垂直度時(shí)只需一個(gè)五角棱鏡既可,無需其他鏡組. 裝/調(diào)非常方便快速
¾ 在測(cè)兩軸的垂直度的同時(shí),兩軸各自的線性定位誤差、直線度,偏擺角、俯仰角都可一次測(cè)出,大大節(jié)省了測(cè)量所占用機(jī)床的時(shí)間,也可避免人為差錯(cuò)。
偏擺角/俯仰角測(cè)量 — API XD的方法
¾ 良好的PSD技術(shù)來測(cè)量小角度: 當(dāng)入射光經(jīng)分光鏡射到凸透鏡上后,如果軸無角度變化,則光線經(jīng)透鏡聚在焦點(diǎn)上;如果軸有角度變化,則光線會(huì)在焦平面上的PSD光靶上得到兩個(gè)方向的坐標(biāo)值,從而與焦距比較得出角度值。
¾ 測(cè)量角度過程中不怕斷光, 可用于導(dǎo)軌的安裝調(diào)試
¾ 不受滾動(dòng)角的影響,調(diào)整光路容易、:
API XD 檢測(cè)導(dǎo)軌平行度(示意):